(1) Obrada prije PVD-a, uključujući čišćenje predmeta i prethodnu obradu.Specifične metode čišćenja uključuju čišćenje deterdžentom, čišćenje kemijskim otapalima, ultrazvučno čišćenje i čišćenje ionskim bombardiranjem.
(2) Stavite ih u peć, uključujući čišćenje vakuumskih komora i pribora, te ugradnju, puštanje u rad i spajanje predmeta i uređaja.
(3) Vakumiranje, općenito pumpanje na 6,6 Pa ili više, otvorite prednji dio difuzijske pumpe ranije kako biste održali vakuumsku pumpu i zagrijali difuzijsku pumpu.Nakon što je predgrijavanje dovoljno, otvara se visoki ventil i difuzijskom pumpom se pumpa u vakuum na pola dna od 6 x 10-3 Pa.
(4) Pečenje, pečenje predmeta na željenoj temperaturi.
(5) Ionsko bombardiranje, vakuum je općenito 10 Pa do 10-1 Pa, napon ionskog bombardiranja je negativan visoki napon od 200 V do 1 KV, a vrijeme napada je 15 min do 30 min.
(6) Prethodno taljenje, podešavanje struje za prethodno taljenje materijala, podešavanje struje za prethodno taljenje prevlake i otplinjavanje u trajanju od 1 min ~ 2 min.Taloženje isparavanjem.Struja isparavanja se podešava prema potrebi sve dok se ne završi željeno vrijeme taloženja.Hlađenje, predmeti se hlade na određenu temperaturu u vakuumskoj komori.
(7) Nakon što su predmeti izvađeni, vakuumska komora se zatvara, vakuum se evakuira na l × l0-1Pa, a difuzijska pumpa se hladi na dopuštenu temperaturu prije nego što se pumpa za održavanje i rashladna voda mogu isključiti.